顯微鏡冷熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮氣等保護(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。

HCS621GXY顯微鏡冷熱臺專為顯微鏡/光譜儀設(shè)計。此款冷熱臺可在-190℃~600℃范圍內(nèi)控溫，同時允許光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮氣等保護(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。

顯微鏡冷熱臺功能特點

適用于顯微鏡/光譜儀

-190℃~600℃可編程控溫（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

直徑26 mm帶通光孔的加熱區(qū)

在XY方向移動樣品的微分移動尺

可充入保護(hù)氣體的氣密腔（另有真空腔型號）

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

溫控參數(shù)

溫度范圍 -190℃~600℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

加熱塊材質(zhì)銀

傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制

最大加熱/制冷速度+150℃/min（100℃時）

-50℃/min（100℃時）

最小加熱/制冷速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃

溫度穩(wěn)定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

光學(xué)參數(shù)

適用光路 透射光路和反射光路

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離5 mm*截面圖中WD

最小聚光鏡工作距離11.5 mm*截面圖中CWD

透光孔φ2 mm*截面圖中φVA

上蓋窗片觀察窗片范圍φ18mm，最大視角±58°*截面圖中θ1

底部窗片觀察窗片范圍φ18mm，最大視角±19°*截面圖中θ2

負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱區(qū)/樣品區(qū) ?26 mm

*使用XY移動尺時樣品區(qū)由樣品襯底決定

樣品腔高2.5 mm

*樣品最大厚度=樣品腔高–樣品襯底厚度

樣品襯底默認(rèn)為石英坩堝（內(nèi)徑>9mm/厚0.5mm）

*可根據(jù)用戶使用需求更換為其他

放樣水平抽出上蓋后置入樣品

樣品XY移動尺可從密封腔外移動樣品，分辨率10μm，行程10mm

氣氛控制氣密腔，可充入保護(hù)氣體

外殼冷卻可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式水平安裝或垂直安裝

臺體尺寸/重量 159.7 mm x 86 mm x 22 mm/500g

配置列表

基本配置 HCS621GXY冷熱臺、mK2000B溫控器

可選配件冷熱臺安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、、

真空系統(tǒng)（僅用于真空型號）

適用范圍

用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。

溫控配件系列

安裝支架：用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上

mK2000B溫控器，含InstecAPP溫控軟件，溫控裝置必選

LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)：液氮泵+液氮罐+液氮管線

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)，帕爾貼式溫控裝置必選

MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機(jī)，含控制軟件

LWDC2長工作距離聚光鏡

真空系統(tǒng)：包括真空泵+真空管路，用于真空型溫控裝置

LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)

主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間，溫控裝置加熱塊內(nèi)埋有封閉式進(jìn)出管路，液氮泵受mK2000B控制進(jìn)行抽氣，把液氮從液氮罐內(nèi)吸到溫控裝置的加熱塊中，實現(xiàn)溫控裝置主動降溫。

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時，外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼，危害周遭人員設(shè)備甚至設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近，能有效預(yù)防此災(zāi)害。

mK2000B溫控器

支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨立的多段PID控制、可保存4套20段校準(zhǔn)表等特點?？瑟毩⒖刂?，也可從InstecAPP軟件控制。

溫度分辨率±0.001℃(熱敏電阻)，±0.01℃(RTD)，±0.1℃(熱電偶)

控制接口USB虛擬串口可選其他接口

可選項LVDC線性可調(diào)直流電源，用于降低電噪音

溫控軟件 InstecAPP，可提供多語言SDK

安裝支架

針對用戶設(shè)備定制，可讓熱臺水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用戶設(shè)備皆可適用。通常有：

圓環(huán)式（用于圓形載物臺），平板式（用于方形載物臺）、

載物臺式（用于代替設(shè)備載物臺）、立式（用于水平光路）。